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高硼硅超薄/基板玻璃
高硼硅载板玻璃
核心优势：
·化学稳定性、热稳定性优于硅晶圆
·光学透明性提升电路图案刻蚀精确性
·可通过离子束刻蚀、电子束刻蚀等技术形成微小电路图案，降低光刻机依赖
·相比硅晶圆，玻璃晶圆电子迁移率高，适用于制作高速电子设备
应用场景
半导体蚀刻